587 |
산연전용 기술개발사업 |
전력반도체 TJ 추정기술 기반 파워사이클링 가속시험장치 개발 |
측정/검사 장비 |
586 |
첫걸음 R&D |
시스템 반도체를 위한 Chip Level 저주파 노이즈 분석기술 및 분석시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
585 |
첫걸음 R&D |
C-TRAY내 잔존 디바이스 및 이물 검출 시스템 |
측정/검사 장비 |
584 |
제품공정개선기술개발사업 |
초박판 대면적 Display panel slimming을 위한 초경량고집적 Cassette개발 |
에칭 장비 |
583 |
창업성장-건강진단연계 |
N2 PURGE 기능 외에 습도와 산소농도가 실측 관리되고 Particle을 감소시키는 기능을 추가하는 다기능 로드포트 장치의 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
582 |
창업성장-건강진단연계 |
eMMC ADAPTIVE TEST EQUIPMENT(MATE)의 기술개발 |
측정/검사 장비 |
581 |
창업성장-건강진단연계 |
전력 사용률 30% 절감이 가능한 사파이어 잉곳 그로어용 히터 Power Supply 개발 |
열처리장비 |
580 |
창업성장-건강진단연계 |
위상차 영상처리기법을 적용한 고정밀 냉음극기반 엑스선 비파괴검사장비 개발 |
측정/검사 장비 |
579 |
기술혁신개발사업 |
반도체 CMP 공정용 인서트 몰딩형 기반 신소재 적용 고성능 리테이너 링 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
578 |
연구장비 공동활용지원사업 |
습식식각보호막용 고분자재료 개발 |
에칭 장비 |
577 |
연구장비 공동활용지원사업 |
차세대 포토마스크 및 PR master 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
576 |
연구장비 공동활용지원사업 |
Fine pitch 테스트용 소켓개발 |
기타 반도체장비 |
575 |
연구장비 공동활용지원사업 |
Probe card용 MEMS probe 제작 및 평가 |
측정/검사 장비 |
574 |
연구장비 공동활용지원사업 |
초정밀 웨이퍼 조도 개선을 위한 공정 개발 |
폴리싱(CMP) 장비 |
573 |
연구장비 공동활용지원사업 |
반도체 세정 및 식각용액의 성능향상을 위한 광소스모듈 기술개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |