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창닫기과제번호 | S2184646 |
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과제명 | N2 PURGE 기능 외에 습도와 산소농도가 실측 관리되고 Particle을 감소시키는 기능을 추가하는 다기능 로드포트 장치의 개발 |
사업명 | 창업성장-건강진단연계 |
공고명 | 2014년도 창업성장기술개발사업 시행계획 공고(재신청 안내) |
세부공고명 | 건강진단연계 1차(건강진단 신청 과제_보완사업계획서 제출용) |
주관기관명 | (주)엘에스텍 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 173,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |