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과제번호 S2184646
과제명 N2 PURGE 기능 외에 습도와 산소농도가 실측 관리되고 Particle을 감소시키는 기능을 추가하는 다기능 로드포트 장치의 개발
사업명 창업성장-건강진단연계
공고명 2014년도 창업성장기술개발사업 시행계획 공고(재신청 안내)
세부공고명 건강진단연계 1차(건강진단 신청 과제_보완사업계획서 제출용)
주관기관명 (주)엘에스텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 173,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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