2025년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 25년 통합공고문 보러 가기
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기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
602 첫걸음 R&D 전극핀 오염 방지기능을 가진 청정환경용 정전기 제거 장치 개발 기타 반도체장비
601 과제발굴연구회사업 플렉서블 디스플레이용 공정장비 및 부품 기술기획 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
600 창업성장-건강진단연계 스마트폰용 카메라 렌즈 검사장비 개발 측정/검사 장비
599 제품공정개선기술개발사업 반도체 장비용 통합형 TIM (Interlock, Devicenet communication Module)개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
598 제품공정개선기술개발사업 반도체 장비용 Cooling Stage 제조공정 개선 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
597 구매조건부신제품개발사업 극저온 G-M냉동기를 이용한 대형 Cold Trap 개발 기타 반도체장비
596 구매조건부신제품개발사업 OLED 유기물 무기물 고온 증착용 고효율(1500℃±1.5%) Point Cell Heater 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
595 중소기업R&D기획지원사업 3차원 낸드플래시 메모리 공정가스 제어용 압력식 질량유량제어장치 개발 증착장비
594 중소기업R&D기획지원사업 다공정 LED 식각장비 표준 플랫폼 개발 에칭 장비
593 기술혁신개발사업 Polyimide 유전체를 이용한 40 um 피치 급 다층 Probe 시스템 개발 측정/검사 장비
592 기술혁신개발사업 전력반도체용 clip bonder기 국산화 개발 패키징장비
591 기술혁신개발사업 반도체/FPD 공정에서 복합광원 및 노이즈저감 back-thinned 분광기가 적용된 고해상도 SR(Spectral reflectometer) 센서를 통한 실시간 공정 이상 제어 장치 개발 기타 반도체장비
590 기업부설연구소 신규설치사업 이동중인 연성타입 검사대상의 깊이정보 검출 장비 개발 측정/검사 장비
589 융복합기술개발사업 미세 나노 공정 wafer level DC parametric 측정 시스템 개발 측정/검사 장비
588 산연전용 기술개발사업 반도체 분석을 위한 Delayering System 개발 폴리싱(CMP) 장비
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