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| 과제번호 | S2184427 |
|---|---|
| 과제명 | 다공정 LED 식각장비 표준 플랫폼 개발 |
| 사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
| 공고명 | 2014년도 중소기업 R&D기획역량 제고 시행계획 통합 공고(1차) |
| 세부공고명 | 혁신과제 |
| 주관기관명 | 주식회사 피에스디이 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 22,100,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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