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창닫기과제번호 | S2216689 |
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과제명 | 반도체 장비용 통합형 TIM (Interlock, Devicenet communication Module)개발 |
사업명 | 제품공정개선기술개발사업 |
공고명 | 2014년도 건강진단연계형 제품공정개선기술개발사업 시행계획 공고 |
세부공고명 | (2차)(4/1~10 오프라인 신청 후 등록) 2014년도 건강진단연계형 제품공정개선기술개발사업 시행계획 공고 |
주관기관명 | 제이에스 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 50,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |