617 |
창업성장-건강진단연계 |
반도체 신제조공법 대응을 위한 Vacuum 방식을 이용한 Wafer용 Film Lamination 장비 개발 |
기타 반도체장비 |
616 |
도약 R&D |
고속형 solenoid를 적용하여 응답성과 정밀도를 향상시킨 Jetting Valve의 개발 |
패키징장비 |
615 |
첫걸음 R&D |
반도체 세정용 전해이온수 발생장치 개발 |
세정장비 |
614 |
도약 R&D |
산소음이온 진단을 위한 소형 음이온 에너지 분석기(Compact Negative Ion Energy Analyzer) 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
613 |
연구마을 지원사업 |
테이프앤릴 반도체 생산공정 자동검사장치의 최적화 적용 및 사업화 |
측정/검사 장비 |
612 |
투자연계 멘토링사업 |
고화소용 블루필터 자동검사 & 정렬 복합장비개발 |
측정/검사 장비 |
611 |
1인창조기업 |
생산 효율을 극대화할 수 있는 EEPROM 입력 Jig Type 자동화 장비 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
610 |
구매조건부신제품개발사업 |
제품 맞춤형 전기적 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
609 |
구매조건부신제품개발사업 |
4초 이하의 stable time을 갖는 일체형 진공압력제어 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
608 |
기술혁신개발사업 |
3차원 수직적층형 반도체 소자 제조 공정에 적합한 TSOM 기법을 적용한 패턴 결함 검사 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
607 |
이공계전문가기술개발서포터즈사업 |
고속 정밀 BGA(Ball Grid Array) 검사를 위한 3D 검사 광학계의 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
606 |
첫걸음 R&D |
영상처리를 이용한 플렉시블 패널 반도체 설비의 얼라인 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
605 |
도약 R&D |
고속, 고정밀도 TAB HANDLER에 사용되는 정밀 STAGE 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
604 |
도약 R&D |
반도체 패키징용 본딩툴의 3차원 형상측정기 개발 |
측정/검사 장비 |
603 |
도약 R&D |
2중 광원을 이용한 투명 전극과 TSP 유리 검사 장치 |
측정/검사 장비 |