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| 과제번호 | S2172135 |
|---|---|
| 과제명 | 3차원 수직적층형 반도체 소자 제조 공정에 적합한 TSOM 기법을 적용한 패턴 결함 검사 장비 개발 |
| 사업명 | 기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2014년도 중소기업 기술혁신개발사업 글로벌전략기술개발 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2014년도 중소기업 기술혁신개발사업 글로벌전략기술개발 투자연계과제 접수 |
| 주관기관명 | (주)넥스틴 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 740,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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