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과제번호 C0235299
과제명 반도체 세정용 전해이온수 발생장치 개발
사업명 첫걸음 R&D
공고명 2014년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 첫걸음-동일지역
세부공고명 2014년 산학연협력 기술개발사업(일반형) 3차 첫걸음-동일지역
주관기관명 호서대학교산학협력단
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 60,968,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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