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과제번호 C0232720
과제명 산소음이온 진단을 위한 소형 음이온 에너지 분석기(Compact Negative Ion Energy Analyzer) 기술 개발
사업명 도약 R&D
공고명 2014년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 도약
세부공고명 2014년 산학연협력 기술개발사업 3차 도약
주관기관명 광운대학교산학협력단
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 82,352,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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