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창닫기과제번호 | C0232720 |
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과제명 | 산소음이온 진단을 위한 소형 음이온 에너지 분석기(Compact Negative Ion Energy Analyzer) 기술 개발 |
사업명 | 도약 R&D |
공고명 | 2014년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 도약 |
세부공고명 | 2014년 산학연협력 기술개발사업 3차 도약 |
주관기관명 | 광운대학교산학협력단 |
관리기관명 | 서울지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 한국산학연협회 |
정부출연금 | 82,352,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |