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과제번호 S2364003
과제명 Metal / Polymer 0.4 Kg/cm2 고밀착 확보가능한 Cluster Type Sputter 설비개발
사업명 민관공동투자기술개발사업
공고명 2015년도 민관공동투자기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 민관공동투자기술개발사업 기업제안과제 접수 공고
주관기관명 (주)제4기한국
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 495,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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