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창닫기과제번호 | S2364003 |
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과제명 | Metal / Polymer 0.4 Kg/cm2 고밀착 확보가능한 Cluster Type Sputter 설비개발 |
사업명 | 민관공동투자기술개발사업 |
공고명 | 2015년도 민관공동투자기술개발사업 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2015년도 민관공동투자기술개발사업 기업제안과제 접수 공고 |
주관기관명 | (주)제4기한국 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 495,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |