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창닫기과제번호 | S2361373 |
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과제명 | 초음파를 이용한 반도체용 showerhead홀 가공 기술 개발 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
공고명 | 2015년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2015년도 창업성장기술개발사업 '창업과제' 3차 시행계획 공고 |
주관기관명 | 주식회사 소닉스비오엠 |
관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 143,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |