842 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 공정용 액상 전구체 정밀공급 및 제어장비 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
841 |
중소기업기술혁신개발사업 |
차세대 리소그래피용 포토마스크 검사를 위한 정밀 통합광학장비 개발 |
측정/검사 장비 |
840 |
중소기업기술혁신개발사업 |
4“ & 6” 웨이퍼용 자동화 미세패턴 노광장비 국산 기술개발 |
노광 트랙장비 |
839 |
중소기업기술혁신개발사업 |
검사 속도 4초, 해상도 6um의 초고속 AXI Planar CT 장비 국산화 개발 |
측정/검사 장비 |
838 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 이온 주입 공정에서 Si 웨이퍼 특성 분석을 위한 광학적 검사 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
837 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 제조 세정공정에 적용되는 냉각공기 공급장치 국산화 |
세정장비 |
836 |
중소기업기술혁신개발사업 |
5G용 반도체레이저의 특성평가 시스템개발 |
측정/검사 장비 |
835 |
맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
반도체 공정 Etching Rate 향상을 위한 Slope Type Gas Shower Plate 개발 |
에칭 장비 |
834 |
맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
나노-마이크로 수준의 반도체 미세 정밀 분석을 위한 전해 연마 기술 개발 |
에칭 장비 |
833 |
산학연협력 신사업 R&D바우처 |
유무기 복합소재용 나노하이브리드 증착 장비 |
증착장비 |
832 |
WC300 R&D |
고성능, 고집적, Compact 타입의 In-Line EDS System 개발 |
측정/검사 장비 |
831 |
WC300 R&D |
6Gbps급 DRAM Component 테스터 개발 |
측정/검사 장비 |
830 |
기술창업투자연계과제 |
ICT 소자검사를 위한 소프트 계측 기반의 초소형 검사 솔루션 |
측정/검사 장비 |
829 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
Ø600이상급 CVD-SiC Bulk 소재 제조 기술을 이용한 MOCVD 공정용 Upper Ceiling Plate 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
828 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
DDIC 다층 COF package test용 6Gbps, 3-Parallel MEMS vertical probe card 개발 |
측정/검사 장비 |