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과제번호 S2794856
과제명 나노-마이크로 수준의 반도체 미세 정밀 분석을 위한 전해 연마 기술 개발
사업명 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트)
공고명 2019년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 2차 공고
세부공고명 (하반기 본선)2019년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 2차 공고
주관기관명 가천대학교 산학협력단
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 30,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비
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