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창닫기과제번호 | S2566251 |
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과제명 | MCA Heater Refurbishment 시스템 개발(300mm 고온형) |
사업명 | 창조혁신형재도전기술개발 |
공고명 | 2017년 창조혁신형 재도전 기술개발사업 심화 R&D지원과제 등록 공고 |
세부공고명 | 2017년 창조혁신형 재도전 기술개발사업 심화 R&D지원과제 등록 |
주관기관명 | (주)임나노텍 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 45,200,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |