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과제번호 S2566251
과제명 MCA Heater Refurbishment 시스템 개발(300mm 고온형)
사업명 창조혁신형재도전기술개발
공고명 2017년 창조혁신형 재도전 기술개발사업 심화 R&D지원과제 등록 공고
세부공고명 2017년 창조혁신형 재도전 기술개발사업 심화 R&D지원과제 등록
주관기관명 (주)임나노텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 45,200,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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