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창닫기과제번호 | S2561914 |
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과제명 | 접촉식 리소그래피용 정전기 방전 손상 방지를 위한 기능성 포토마스크 제조기술 |
사업명 | 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 |
공고명 | 2017년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내 |
세부공고명 | 2017년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내 |
주관기관명 | (주)네프코 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 100,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |