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과제번호 S2561914
과제명 접촉식 리소그래피용 정전기 방전 손상 방지를 위한 기능성 포토마스크 제조기술
사업명 중소기업 기술사업화 역량강화 사업
공고명 2017년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내
세부공고명 2017년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내
주관기관명 (주)네프코
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 100,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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