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| 과제번호 | S2381429 |
|---|---|
| 과제명 | Laser welding을 이용한 반도체 스퍼터링 E-chuck recycle system 개발 |
| 사업명 | 재창업기업아이디어신제품개발사업 |
| 공고명 | 2016년도 재창업기업 아이디어 신제품 개발사업 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2016년도 재창업기업 아이디어 신제품 개발사업 |
| 주관기관명 | (주)임나노텍 |
| 관리기관명 | 사단법인 신성장창조경제협력연합회 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 131,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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