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| 과제번호 | S2543349 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 CMP 공정의 슬러리 저감을 위한 이중 슬릿(Slit)구조의 다공(Multi-hole) 노즐 및 이를 적용한 딜리버리 암(Delivery arm) 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업(해외수요처) |
| 공고명 | 2017년 구매조건부신제품개발사업 해외수요처 3차 기업제안과제 접수 공고 |
| 세부공고명 | 2017년 구매조건부신제품개발사업 해외수요처 3차 기업제안과제 접수 공고 |
| 주관기관명 | (주)맥스텍 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 250,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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