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과제번호 S2540934
과제명 Photo Mask 보호용 Pellicle의 지능형 3차원 측정 Review System 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업(국내수요처)
공고명 2017년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 3차 기업제안과제 접수 공고
세부공고명 2017년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 3차 기업제안과제 접수 공고
주관기관명 인티맥스 주식회사
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 459,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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