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과제번호 S2518312
과제명 마스크 건식 세정 설비 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자)
공고명 2017년 구매조건부신제품개발사업 민관공동투자기술개발 2차 기업제안과제 접수 공고
세부공고명 2017년 구매조건부신제품개발사업 민관공동투자기술개발 2차 기업제안과제 접수 공고
주관기관명 (주)다원시스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 479,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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