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과제번호 S2488875
과제명 다중 코팅 융합 기술을 접목한 방오, 제품킬러형 결함 방지 및 제품 패턴 에지 거칠기 개선 기능을 갖는 고객사 수율 향상형 포토마스크 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업(국내수요처)
공고명 2017년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 1차 기업제안과제 접수 공고(수정)
세부공고명 2017년 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 1차 기업제안과제 접수 공고
주관기관명 (주)네프코
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 499,850,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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