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과제번호 S2500775
과제명 단일모듈을 이용한 저비용 고내열 니켈/주석 복합박막 공정장비기술개발
사업명 혁신형기술개발사업
공고명 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(2차)
세부공고명 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(2차)
주관기관명 에스브이에스주식회사
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 500,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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