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창닫기과제번호 | S2498069 |
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과제명 | 반도체 생산 공정을 위한 속도 1.5m/s, 가속도 2.5g급 Wafer Metrology 용 모션 스테이지 시스템 기술 개발 |
사업명 | 혁신형기술개발사업 |
공고명 | 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(2차) |
세부공고명 | 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(2차) |
주관기관명 | 이노로보틱스 주식회사 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 500,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |