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과제번호 S2498069
과제명 반도체 생산 공정을 위한 속도 1.5m/s, 가속도 2.5g급 Wafer Metrology 용 모션 스테이지 시스템 기술 개발
사업명 혁신형기술개발사업
공고명 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(2차)
세부공고명 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(2차)
주관기관명 이노로보틱스 주식회사
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 500,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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