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과제번호 S2519610
과제명 MEMS 기술을 이용한 극초미세 30㎛ pitch 및 초고속 32Gbps 반도체용 차세대 검사 장치 개발
사업명 WC300 R&D
공고명 (제한공모) 2017년 2차 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 안내
세부공고명 (제한공모) 2017년 2차 World Class 300프로젝트 R&D 지원 신청 안내
주관기관명 주식회사티에스이
관리기관명 한국산업기술진흥원
전문기관명 한국산업기술진흥원
정부출연금 3,701,952,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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