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창닫기과제번호 | S2519610 |
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과제명 | MEMS 기술을 이용한 극초미세 30㎛ pitch 및 초고속 32Gbps 반도체용 차세대 검사 장치 개발 |
사업명 | WC300 R&D |
공고명 | (제한공모) 2017년 2차 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 안내 |
세부공고명 | (제한공모) 2017년 2차 World Class 300프로젝트 R&D 지원 신청 안내 |
주관기관명 | 주식회사티에스이 |
관리기관명 | 한국산업기술진흥원 |
전문기관명 | 한국산업기술진흥원 |
정부출연금 | 3,701,952,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |