962 |
수요기반 기술이전 |
EUV Pellicle 검사용 광학 부품인 EUV Mirror 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
961 |
수요기반 기술이전 |
하이브리드 나노버블 세정 장비 |
세정장비 |
960 |
수요기반 기술이전 |
반도체 및 디스플레이 양산장비의 대전방지 이송 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
959 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
IGBT를 사용한 고역율 Transformerless 전력조정기 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
958 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
AI VISION 탑재 반도체 PACKAGE SAW&SORTER SYSTEM 개발 |
패키징장비 |
957 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
대면적 OLED 디스플레이용 OMM 제작을 위한 DI 노광기 개발 |
노광 트랙장비 |
956 |
네트워크형기술개발사업(네트워크 기획) |
진공몰딩공정을 적용한 변성 에폭시계 반도체 CMP 장비용 리테이닝 링 개발 |
폴리싱(CMP) 장비 |
955 |
전략형창업과제 |
반도체 에칭 공정용 실리콘 음극홀 가공을 위해 DLC 코팅기술을 이용한 고경도 마이크로 드릴개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
954 |
디딤돌창업과제 |
반도체 공정 장비의 실링용 Non-Filler 고무 조성물 및 이를 이용한 오링 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
953 |
전략형창업과제 |
다중유체 온도 제어를 통한 MPT 극저온 Chiller 국산화 |
측정/검사 장비 |
952 |
전략형창업과제 |
등방성카본의 열전도 향상을 통한 반도체용 웨이퍼 홀더 개발 |
증착장비 |
951 |
전략형창업과제 |
반도체 패키징 생산用 압력Chamber의 Big Size Bubble(Void) 불량해결을 위한 "진공제어 Unit" 기술개발 사업 |
패키징장비 |
950 |
전략형창업과제 |
반도체 공정부산물 세정용 Foreline 플라즈마 장비 개발 |
세정장비 |
949 |
디딤돌창업과제 |
소자의 B Dopant 확산 억제를 위한 550 oC이하 ALD 산화막 증착 공정기술 및 핵심 장치 개발 |
증착장비 |
948 |
디딤돌창업과제 |
반도체 식각장비 포커스링용 PVT(승화재결정법) SiC 소재개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |