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| 과제번호 | S2959217 |
|---|---|
| 과제명 | 소자의 B Dopant 확산 억제를 위한 550 oC이하 ALD 산화막 증착 공정기술 및 핵심 장치 개발 |
| 사업명 | 디딤돌창업과제 |
| 공고명 | 2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)이큐테크플러스 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 130,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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