913 |
수요기반 기술이전 |
반도체 Wafer 공정용 불산 제어 밸브 모듈 개발 |
세정장비 |
912 |
수요기반 기술이전 |
반도체 금속 박막 측정 장비용 비파괴 레이저-초음파 계측 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
911 |
디딤돌창업과제 |
소형경박 80㎛ 두께 마이크로 IC 플립형 실장 장치개발 |
패키징장비 |
910 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
수입의존도 100%, 반도체 세정공정용 농도분석기 개발 |
측정/검사 장비 |
909 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
실리콘 혼합소재로 초미세 PCR CONTACTOR 및 MULTI PIN TESTER 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
908 |
해외 인증/규격 적합제품 R&D |
사물 인터넷(IOT)을 적용한 디지털 유량제어 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
907 |
AI기반 고부가 신제품기술개발 |
43인치 디지털사이니지(영상디스플레이)에 AI 안면인식을 탑재하여 출입자의 보안기능과 열화상센서로검출하는 기능의 장비 시스템 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
906 |
전략형창업과제 |
산업용 비파괴 검사용 고출력 디지털 나노 엑스레이 발생장치 개발 |
측정/검사 장비 |
905 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
반도체 공정용 초정밀 3축 제어기술 및 나노급 입식 Orifice Air 부상 Stage 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
904 |
전략형창업과제 |
솔더 페이스트 리웍을 위한 디스펜싱 시스템 |
기타 반도체장비 |
903 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
슈퍼섬유소재 기반 휨, 대전방지 기능을 부여한 반도체 장비용 가이드체인 설계 및 무분진클린케이블 개발 |
측정/검사 장비 |
902 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
차세대 반도체 패키징용 Laser Micro Bump Repair 기술 및 장비 개발 |
패키징장비 |
901 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
300mm급 반도체 공정장비 작동중단없이 Wafer Alignment 및 Chamber 내부 실시간 모니터링이 가능한 특정 기기 개발 |
측정/검사 장비 |
900 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
이중냉각수로기술을 적용하여 식각공정 효율을 높여 주고 수입을 대체할 수 있는 식각 공정 장비인 정전척용 베이스 플레이트의 국산화 |
에칭 장비 |
899 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
1 Printing, 1 Cleaning Cycle Time 12초 이내 초고속 대면적 PCB 표면실장이 가능한 Cream Solder 프린팅 장비 개발 |
기타 반도체장비 |