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| 과제번호 | S3048644 |
|---|---|
| 과제명 | 진공몰딩공정을 적용한 변성 에폭시계 반도체 CMP 장비용 리테이닝 링 개발 |
| 사업명 | 네트워크형기술개발사업(네트워크 기획) |
| 공고명 | 2021년도 중소기업네트워크형 기술개발사업 네트워크 기획 시행계획 수정 공고 |
| 세부공고명 | 2021년도 중소기업네트워크형 기술개발사업 네트워크 기획 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)에스엠티 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 30,000,000 |
| 과제상태 | 개발종료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 폴리싱(CMP) 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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