917 |
중소기업R&D기획지원사업 |
전위센서 국산화 개발을 통한 이온 감쇄 시간 측정기기 개발 |
기타 반도체장비 |
916 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
데이터센터향 추론용 인공지능 프로세서 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
915 |
위기지역중소기업scale-up(Scale-up) |
(Scale-up R&D) 고순도 알루미나 메탈라이징 기술을 이용한 정전척 부품 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
914 |
수요기반 기술이전 |
광에너지 밀도 2.5W/cm2이상을 갖는 UV-C LED를 적용한 노광기 광학엔진 기술 개발 |
노광 트랙장비 |
913 |
수요기반 기술이전 |
고품위 비파괴 검사용 나노 전계 에미터 기반 디지털 엑스선 튜브 |
측정/검사 장비 |
912 |
수요기반 기술이전 |
반도체 Wafer 공정용 불산 제어 밸브 모듈 개발 |
세정장비 |
911 |
수요기반 기술이전 |
반도체 금속 박막 측정 장비용 비파괴 레이저-초음파 계측 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
910 |
디딤돌창업과제 |
소형경박 80㎛ 두께 마이크로 IC 플립형 실장 장치개발 |
패키징장비 |
909 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
수입의존도 100%, 반도체 세정공정용 농도분석기 개발 |
측정/검사 장비 |
908 |
해외 인증/규격 적합제품 R&D |
사물 인터넷(IOT)을 적용한 디지털 유량제어 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
907 |
AI기반 고부가 신제품기술개발 |
43인치 디지털사이니지(영상디스플레이)에 AI 안면인식을 탑재하여 출입자의 보안기능과 열화상센서로검출하는 기능의 장비 시스템 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
906 |
전략형창업과제 |
산업용 비파괴 검사용 고출력 디지털 나노 엑스레이 발생장치 개발 |
측정/검사 장비 |
905 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
반도체 공정용 초정밀 3축 제어기술 및 나노급 입식 Orifice Air 부상 Stage 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
904 |
전략형창업과제 |
솔더 페이스트 리웍을 위한 디스펜싱 시스템 |
기타 반도체장비 |
903 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
슈퍼섬유소재 기반 휨, 대전방지 기능을 부여한 반도체 장비용 가이드체인 설계 및 무분진클린케이블 개발 |
측정/검사 장비 |