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창닫기과제번호 | SS000273 |
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과제명 | (Scale-up R&D) 고순도 알루미나 메탈라이징 기술을 이용한 정전척 부품 개발 |
사업명 | 위기지역중소기업scale-up(Scale-up) |
공고명 | 2020년도 위기지역 중소기업 Scale-up R&D 지원사업 시행계획 공고(scale-up) |
세부공고명 | 2020년도 위기지역 중소기업 Scale-up R&D 지원사업 시행계획 공고(scale-up) |
주관기관명 | (주)씨엠테크 |
관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 100,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |