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과제번호 SS000273
과제명 (Scale-up R&D) 고순도 알루미나 메탈라이징 기술을 이용한 정전척 부품 개발
사업명 위기지역중소기업scale-up(Scale-up)
공고명 2020년도 위기지역 중소기업 Scale-up R&D 지원사업 시행계획 공고(scale-up)
세부공고명 2020년도 위기지역 중소기업 Scale-up R&D 지원사업 시행계획 공고(scale-up)
주관기관명 (주)씨엠테크
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 100,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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