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과제번호 S2867591
과제명 슈퍼섬유소재 기반 휨, 대전방지 기능을 부여한 반도체 장비용 가이드체인 설계 및 무분진클린케이블 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제1차 시행계획 공고(수정)
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 '시장대응형 과제' 제1차 시행계획 수정공고
주관기관명 (주)티엠텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 467,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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