932 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
테라헤르츠파를 이용한 반도체 웨이퍼 물리량 측정 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
931 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
Magnetic Czochralski법을 이용한 12인치 웨이퍼 단결정 반도체 생산용 무냉매(Dry type) 초전도 자석 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
930 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
반도체용 ArF Blank/Photo Mask Haze Free 스핀 세정 장비 개발 |
세정장비 |
929 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
메모리 반도체 측정 생산성 제고를 위한 프로브 카드용 TCC(Temperature Control Ceramic) STF 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
928 |
혁신형R&D |
반도체 DRAM 표준 자동화 공정을 위한 Auto BIB(Burn-in Board) 테스트 공정 검사 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
927 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
반도체 Etching 공정 부품의 수명 향상을 위한 Conical 구조의 Cathode 및 원가 절감을 위한 미세 홀 일시 가공 기술 개발 |
에칭 장비 |
926 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
FO-PLP(Fan-Out Panel Level Package)용 대면적 600×600㎜ 대응 가능한 생산성 15,000UPH급 Quad방식 Die Ejection & Bonding 자동화 장비 개발 |
패키징장비 |
925 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
EMI Chip Step Coverage 50% 이상 가능한 One Chamber 타입의 스퍼터링 장비 국산화 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
924 |
기술규제 해결형 기술개발 |
MEMS Probe용 Pd-Co 합금도금을 위한 Ammonia 규제 대응 착화제 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
923 |
수요기반 기술이전 |
마이크로 LED 디스플레이 불량픽셀 EL 검사 및 리페어 장비기술 개발 |
기타 반도체장비 |
922 |
기술진단 기획 |
레이저 열처리(Laser Annealing) 장비 및 공정개발 |
열처리장비 |
921 |
맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
소형 반도체 테스트 장비 개발을 위한 플래시 메모리 인터페이스 설계 |
측정/검사 장비 |
920 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
주석(Sn) 도금을 하지 않는 MLCC 공정용 Solder 분사 &식각 Termination plating 장비 개발 |
증착장비 |
919 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
흡.탈착공기물생성장치 |
기타 반도체장비 |
918 |
중소기업R&D기획지원사업 |
Magnet Gauss와 배열을 조정하여 타겟 라이프타임 성능이 향상된 양산형 마그네틱 RF·DC 스퍼터 장비 기술 |
증착장비 |