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| 과제번호 | S2959201 |
|---|---|
| 과제명 | Magnet Gauss와 배열을 조정하여 타겟 라이프타임 성능이 향상된 양산형 마그네틱 RF·DC 스퍼터 장비 기술 |
| 사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
| 공고명 | 2020년 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고(2차) |
| 세부공고명 | 2020년 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고_첫걸음기획 |
| 주관기관명 | 바코솔루션 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 25,500,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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