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창닫기과제번호 | S3034996 |
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과제명 | MEMS Probe용 Pd-Co 합금도금을 위한 Ammonia 규제 대응 착화제 기술 개발 |
사업명 | 기술규제 해결형 기술개발 |
공고명 | 2020년도 제2차 중소기업 기술규제 해결형 기술개발사업 접수 공고(2단계 R&D) |
세부공고명 | 2020년도 제2차 중소기업 기술규제 해결형 기술개발사업 접수 공고(2단계 R&D) |
주관기관명 | (주)티앤아이켐 |
관리기관명 | 인천지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 470,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |