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과제번호 S3034996
과제명 MEMS Probe용 Pd-Co 합금도금을 위한 Ammonia 규제 대응 착화제 기술 개발
사업명 기술규제 해결형 기술개발
공고명 2020년도 제2차 중소기업 기술규제 해결형 기술개발사업 접수 공고(2단계 R&D)
세부공고명 2020년도 제2차 중소기업 기술규제 해결형 기술개발사업 접수 공고(2단계 R&D)
주관기관명 (주)티앤아이켐
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 470,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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