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과제번호 S2953277
과제명 메모리 반도체 측정 생산성 제고를 위한 프로브 카드용 TCC(Temperature Control Ceramic) STF 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제2차 시행계획 공고(수정)
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제2차 시행계획 수정공고
주관기관명 (주)샘씨엔에스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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