887 |
산연협력(사업화 R&D) |
초미세 고정밀 자외선 경화를 활용한 디스펜싱 시스템 개발 |
패키징장비 |
886 |
현장형R&D |
자동화 물류시스템의 Turn Unit Align Test 공정 개선 (KRA Series / 3AC 119V 1.3A 200w) |
기타 반도체장비 |
885 |
현장형R&D |
반도체 공정용 세라믹 돔 재생가공 공정의 작업개선 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
884 |
현장형R&D |
플렉시블 기기에 적용되는 인라인 칩마운팅 반도체 접합 공정기술개발 |
패키징장비 |
883 |
현장형R&D |
공정시간 30% 이상 절감을 위한 반도체 에칭 공정용 Under Slot Type 이체형 C-Ring 개발 |
에칭 장비 |
882 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
신진 연구인력 채용지원 사업 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
881 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
Fine pitch 시스템 반도체 package용 FC-CSP 및 FC-BGA IC 기판의 4단자 전기검사 MEMS Jig 개발 |
측정/검사 장비 |
880 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 공정가스 Scrubber 처리효율 모니터링 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
879 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
10-8 torr 수준의 초고진공 환경에서 작동하는 고하중 지지형 80Nm급 토크 성능이 개선된 manipulator 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
878 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
100채널 이상의 다채널 센서 Read-Out IC 양산 테스트 장비를 위한 FPGA 기반의 지능형 테스트 플랫폼 개발 |
측정/검사 장비 |
877 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
반도체 세정공정상의 CEDI(초순수 처리 시스템) 내 초순수 생산용 프로그래머블 DC Current Source 국산화 개발 |
세정장비 |
876 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
반도체 wet 공정 monitoring용 인라인 농도계 개발 |
측정/검사 장비 |
875 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
8인치 초고진공 정전척 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
874 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 패키지용 기판 검사장비 국산화 개발 |
측정/검사 장비 |
873 |
중소기업R&D기획지원사업 |
컨베이어 모듈화 장치 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |