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과제번호 S2852262
과제명 10-8 torr 수준의 초고진공 환경에서 작동하는 고하중 지지형 80Nm급 토크 성능이 개선된 manipulator 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제1차 시행계획 공고(수정)
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제1차 시행계획 수정공고
주관기관명 티오에스주식회사
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 미완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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