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창닫기과제번호 | S2852262 |
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과제명 | 10-8 torr 수준의 초고진공 환경에서 작동하는 고하중 지지형 80Nm급 토크 성능이 개선된 manipulator 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제1차 시행계획 공고(수정) |
세부공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제1차 시행계획 수정공고 |
주관기관명 | 티오에스주식회사 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 600,000,000 |
과제상태 | 미완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |