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과제번호 S2980806
과제명 등방성카본의 열전도 향상을 통한 반도체용 웨이퍼 홀더 개발
사업명 전략형창업과제
공고명 2020년도 창업성장기술개발사업 '전략형 창업과제(소재·부품·장비)' 제2차 시행계획 수정 공고
세부공고명 2020년도 창업성장기술개발사업 '전략형 창업과제(소재·부품·장비)' 제2차 시행계획 수정 공고
주관기관명 주식회사 카보넥스
관리기관명 전북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 396,400,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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