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창닫기과제번호 | S2980806 |
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과제명 | 등방성카본의 열전도 향상을 통한 반도체용 웨이퍼 홀더 개발 |
사업명 | 전략형창업과제 |
공고명 | 2020년도 창업성장기술개발사업 '전략형 창업과제(소재·부품·장비)' 제2차 시행계획 수정 공고 |
세부공고명 | 2020년도 창업성장기술개발사업 '전략형 창업과제(소재·부품·장비)' 제2차 시행계획 수정 공고 |
주관기관명 | 주식회사 카보넥스 |
관리기관명 | 전북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 396,400,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |