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과제번호 S3060576
과제명 하이브리드 나노버블 세정 장비
사업명 수요기반 기술이전
공고명 2021년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제1차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제1차 시행계획 공고
주관기관명 주식회사알티자동화
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 766,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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