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과제번호 S3060516
과제명 반도체 및 디스플레이 양산장비의 대전방지 이송 시스템 개발
사업명 수요기반 기술이전
공고명 2021년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제1차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제1차 시행계획 공고
주관기관명 (주)토마스엔지니어링
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 766,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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