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과제번호 S2953881
과제명 반도체 식각장비 포커스링용 PVT(승화재결정법) SiC 소재개발
사업명 디딤돌창업과제
공고명 2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2020년도 창업성장기술개발사업 '디딤돌 창업과제(첫걸음)' 제2차 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 케이엑스티
관리기관명 경남지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 130,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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