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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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332 | 구매조건부신제품개발사업 | FCB 4Wire E-Checker[전기검사기] 국산화 개발 | 측정/검사 장비 |
331 | 구매조건부신제품개발사업 | Wafer 세정용 초 순수 대전 방지장치 및 Degas System 개발 | 세정장비 |
330 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 슈퍼컴퓨팅을 활용한 CVD 공정용 최적화 Shower head 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
329 | 기업협동형기술개발사업 | 에너지절약형 미세파 플라즈마 화염을 이용한 불소/염소 화합물 분해시스템 개발 | 기타 반도체장비 |
328 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 다층 기판 결합형 60um fine pitch급 probe module 개발 | 측정/검사 장비 |
327 | 구매조건부신제품개발사업 | FCB Bump 110㎛ Pitch 이하 3D AFVI 국산화 개발 | 측정/검사 장비 |
326 | 생산환경혁신기술개발사업 | Mask Loader 장비개발 | 기타 반도체장비 |
325 | 기업협동형기술개발사업 | 반도체 식각장비용 고주파 전원모듈 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
324 | 구매조건부신제품개발사업 | 7세대 이상 대형 In-line Type Sputter Target Cooling Unit 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
323 | 중소기업기술혁신개발사업 | CVD 공정용 300mm Ceramic heater 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
322 | 중소기업기술혁신개발사업 | 고효율 SATA SSD 테스트 시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
321 | 중소기업기술혁신개발사업 | 3kw 알.에프 제너레이터 개발(플라즈마 전원장치) | 증착장비 |
320 | 중소기업기술혁신개발사업 | RF Device의 Wafer Test용 Contactor 개발 | 측정/검사 장비 |
319 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 CMP공정 생산성 향상 장치 개발 | 측정/검사 장비 |
318 | 중소기업기술혁신개발사업 | 광전반도체용 POCl3 공정 Furnace 장비 개발 | 기타 반도체장비 |