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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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242 | 중소기업기술혁신개발사업 | MEMS 공정을 이용한 60um 이하 Fine Pitch용 300mm Probe Card 상용화 개발 | 측정/검사 장비 |
241 | 중소기업기술혁신개발사업 | laser water-jet 제작기술 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
240 | 생산환경혁신기술개발사업 | 광 서브 어셈블리 제작을 위한 자동형 자외선 경화 능동 광 정렬 장비의 개발 | 패키징장비 |
239 | 중소기업기술혁신개발사업 | MEMS 기술을 이용한 60um 급 협피치 connector 개발 | 기타 반도체장비 |
238 | 중소기업기술혁신개발사업 | 디지털 홀로그래피를 이용한 반도체 웨이퍼 in-line 검사용 3차원 고속정밀 검사 장비 개발 | 측정/검사 장비 |
237 | 중소기업기술혁신개발사업 | 차세대 반도체 Molding 장비용 Mechanical Press 개발 | 패키징장비 |
236 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 패키징 공정을 위한 고속 자동 3차원 측정 장비 개발 | 측정/검사 장비 |
235 | 중소기업기술혁신개발사업 | 모니터링 시스템 일체형 대구경 웨이퍼 가공용 CMP멤브레인 헤드 개발 | 폴리싱(CMP) 장비 |
234 | 중소기업기술혁신개발사업 | Wafer 세정용 single, Wafer Spin Module 개발 | 세정장비 |
233 | 중소기업기술혁신개발사업 | 고속/RF 반도체 웨이퍼 테스트 장비용 협피치 다중배열 커넥터 개발 | 측정/검사 장비 |
232 | 중소기업이전기술개발사업 | 반도체 소자용 화학원료물질 증기압 측정장비 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
231 | 구매조건부신제품개발사업 | 칩마운터 공간 활용 극대화를 위한 측면 부품 공급장치 개발 | 기타 반도체장비 |
230 | 구매조건부신제품개발사업 | SABiT BUMP높이 검사기 개발 | 측정/검사 장비 |
229 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 웨이퍼 반송 기능을 갖는 로드락 장치의 개발 | 기타 반도체장비 |
228 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 대기압 플라즈마를 이용한 In-line형 반도체 감광막 제거 기술 개발 | 기타 반도체장비 |