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과제번호 S1030515
과제명 반도체 소자용 화학원료물질 증기압 측정장비 개발
사업명 중소기업이전기술개발사업
공고명 2007년도 하반기 중소기업 이전기술개발사업 지원게획 공고
세부공고명 자유응모과제
주관기관명 (주)큐리프
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 74,200,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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