
사이트맵
창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
---|---|---|---|
137 | 중소기업기술혁신개발사업 | 멀티 스크린프린팅기술 | 기타 반도체장비 |
136 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 웨이퍼 솔더도금 설비개발 | 증착장비 |
135 | 중소기업기술혁신개발사업 | 플라즈마를 이용한 Residual Gas Monitor | 측정/검사 장비 |
134 | 중소기업기술혁신개발사업 | 신제조공법을 이용한 반도체 CVD 공정용 AlN 부품 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
133 | 구매조건부신제품개발사업 | 계기집합체, 전기식 | 증착장비 |
132 | 구매조건부신제품개발사업 | 현장안전관리통제시스템 | 폴리싱(CMP) 장비 |
131 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 및 디스플레이 인라인 공정용 멀티헤드 매핑 분광타원해석기 개발 | 측정/검사 장비 |
130 | 중소기업기술혁신개발사업 | DDI TEST HANDLER 개발 | 측정/검사 장비 |
129 | 중소기업기술혁신개발사업 | Laser를 이용한 고출력LED의 Wafer Level Packaging 기술 및 장치개발 | 패키징장비 |
128 | 중소기업기술혁신개발사업 | 세라믹 베어링형 고효율 터보펌프 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
127 | 중소기업기술혁신개발사업 | 화합물 반도체 금속 배선용을 위한 전 자동화 Wafer Plating System | 기타 반도체장비 |
126 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 CVD 공정용 고온 발열 Ceramic Chuck 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
125 | 중소기업기술혁신개발사업 | Dry Ashing System for damageless Low-k Films(리모트 애싱 시스템) | 에칭 장비 |
124 | 중소기업기술혁신개발사업 | 300mm Annealed Wafer 제조기술의 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
123 | 중소기업기술혁신개발사업 | 박막 증착용 중성빔 소스 개발 | 증착장비 |