208 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Wafer Back grinding을 위한 Wafer Tape Lamination기술 |
기타 반도체장비 |
207 |
중소기업기술혁신개발사업 |
다이아몬드가공법을 이용한 wire bonding용 capillary 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
206 |
중소기업기술혁신개발사업 |
휴대폰용 카메라 모듈의 흑점 결함(black defect) 제거 시스템 개발 |
세정장비 |
205 |
중소기업기술혁신개발사업 |
PCB의 High A/R Hole용 무전해 화학동 수평장비 개발 |
기타 반도체장비 |
204 |
중소기업기술혁신개발사업 |
임피던스 변환을 통한 의사플라즈마 부하장치 개발 |
측정/검사 장비 |
203 |
중소기업기술혁신개발사업 |
VERTICAL TYPE NOZZLE 분사방식 TUBE CLEANER 개발 |
세정장비 |
202 |
중소기업기술혁신개발사업 |
多 방향성 특수조명계 (COL: Combinational Optic Light )의 개발. |
측정/검사 장비 |
201 |
중소기업기술혁신개발사업 |
실시간(In-Situ) 두께 측정 EPD(End Point Detection) System |
기타 반도체장비 |
200 |
중소기업기술혁신개발사업 |
오븐 및 플라즈마 프로세스 인라인 |
패키징장비 |
199 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Thermal Plasma를 이용한 반도체 PFC 배기 가스 정화 장치 |
기타 반도체장비 |
198 |
중소기업기술혁신개발사업 |
고밀도 반도체장비에 적합한 공간 절약형 진공로봇 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
197 |
중소기업기술혁신개발사업 |
FCT(Function Tester) 기능을 활용한 전자회뢰기판 검사장치 개발 |
측정/검사 장비 |
196 |
중소기업기술혁신개발사업 |
parallel memory용 precision hot/cold chamber개발 |
기타 반도체장비 |
195 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
구조 및 물성, 표면, 계면분석 장비를 기반으로 하는 반도체 게이트전극용 극미세 결정립 폴리실리콘 챔버 개발 |
증착장비 |
194 |
중소기업이전기술개발사업 |
고진공 터보펌프의 초고속 전동기 제어장치 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |