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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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122 | 중소기업기술혁신개발사업 | Cassette 내 Wafer 산화방지를 위한 N2 Purge Load Port 개발 | 기타 반도체장비 |
121 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체, LCD 제조공정 배기가스 분리 배출 Swicghing Valve개발 | 기타 반도체장비 |
120 | 중소기업기술혁신개발사업 | Stand-Alone Type Vericode Reader를 위한 Embedded Platform 개발 | 기타 반도체장비 |
119 | 중소기업기술혁신개발사업 | IN TRAY LASER MARKING SYSTEM | 기타 반도체장비 |
118 | 중소기업기술혁신개발사업 | 20KW급 마그네트론 스퍼터용 고속 아크제어기 개발 | 증착장비 |
117 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체제조 장비용 INDICATED 고진공 게이트 밸브 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
116 | 중소기업기술혁신개발사업 | 바렐을 이용한 반도체 패키지 소자의 전해 디플레쉬 장치 개발 | 세정장비 |
115 | 중소기업기술혁신개발사업 | 스파트링 진공쳄버 개발 | 증착장비 |
114 | 중소기업기술혁신개발사업 | 3D Integrated Microsystem 제작을 위한 Photoresist Spray Coating System 및 공정 개발 | 기타 반도체장비 |
113 | 중소기업기술혁신개발사업 | 고집적 메모리소자용 금속전극 및 증착공정 개발 | 증착장비 |
112 | 중소기업기술혁신개발사업 | 다중피치 투영격자를 이용한 높은 측정범위의 BGA 3D 검사장비 | 측정/검사 장비 |
111 | 중소기업기술혁신개발사업 | 8 Paralel Pusher Type Test handler | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
110 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초음파를 이용한 CMP PAD 세정기 개발 | 세정장비 |
109 | 중소기업기술혁신개발사업 | 대기압 글로우 플라즈마를 이용한 리드프레임 도금 전처리 세정 기술개발 | 세정장비 |
108 | 중소기업기술혁신개발사업 | 진공용 대면적 Glass chuck | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |