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과제번호 S0087039
과제명 고집적 메모리소자용 금속전극 및 증착공정 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2004년도 중소기업기술혁신개발사업 중 전략과제 지원계획 공고
세부공고명 한국발명진흥회 과제 (마이그레이션 맵핑용)
주관기관명 주식회사 메카로
관리기관명 한국발명진흥회
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 75,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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