212 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 열처리장비의 산화막 제조용 외부연소장치(External Torch) 개발 |
열처리장비 |
211 |
중소기업기술혁신개발사업 |
NAND, NOR FLASH 그리고 삼성 MCU를 지원하는 8Socket gang programmer 장비개발 |
기타 반도체장비 |
210 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 웨이퍼 폴리싱용 Template 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
209 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 Plasma Etching TEL Cathode 633-Hole의 1회 완전 천공기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
208 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Wafer Back grinding을 위한 Wafer Tape Lamination기술 |
기타 반도체장비 |
207 |
중소기업기술혁신개발사업 |
다이아몬드가공법을 이용한 wire bonding용 capillary 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
206 |
중소기업기술혁신개발사업 |
휴대폰용 카메라 모듈의 흑점 결함(black defect) 제거 시스템 개발 |
세정장비 |
205 |
중소기업기술혁신개발사업 |
PCB의 High A/R Hole용 무전해 화학동 수평장비 개발 |
기타 반도체장비 |
204 |
중소기업기술혁신개발사업 |
임피던스 변환을 통한 의사플라즈마 부하장치 개발 |
측정/검사 장비 |
203 |
중소기업기술혁신개발사업 |
VERTICAL TYPE NOZZLE 분사방식 TUBE CLEANER 개발 |
세정장비 |
202 |
중소기업기술혁신개발사업 |
多 방향성 특수조명계 (COL: Combinational Optic Light )의 개발. |
측정/검사 장비 |
201 |
중소기업기술혁신개발사업 |
실시간(In-Situ) 두께 측정 EPD(End Point Detection) System |
기타 반도체장비 |
200 |
중소기업기술혁신개발사업 |
오븐 및 플라즈마 프로세스 인라인 |
패키징장비 |
199 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Thermal Plasma를 이용한 반도체 PFC 배기 가스 정화 장치 |
기타 반도체장비 |
198 |
중소기업기술혁신개발사업 |
고밀도 반도체장비에 적합한 공간 절약형 진공로봇 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |