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과제번호 S1019299
과제명 임피던스 변환을 통한 의사플라즈마 부하장치 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2007년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(일반과제-자유응모)
세부공고명 일반과제
주관기관명 (주)이큐글로벌
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 76,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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