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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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167 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 패키징 금속미세선 인장 테스트 장비개발 | 측정/검사 장비 |
166 | 기업협동형기술개발사업 | 지반포화도 측정 스마트풀 이용 토사 절개사면 붕괴 예경보 시스템 | 에칭 장비 |
165 | 중소기업기술혁신개발사업 | Metal Film Laser Scribing System | 기타 반도체장비 |
164 | 중소기업기술혁신개발사업 | Chemical 공정을 완전히 배제한 ‘감압’ 방식의 친환경 Wafer 세정 건조장치 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
163 | 중소기업기술혁신개발사업 | 낮은 종횡비를 갖는 반도체 산화막 식각용 플라즈마 소스 개발 | 에칭 장비 |
162 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체칩 및 휴대폰 소자몰딩 자동경화시스템 개발 | 기타 반도체장비 |
161 | 중소기업기술혁신개발사업 | 웨이퍼 표면 및 내부 결함 검사를 위한 AOI(Automated Optical Inspection)시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
160 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초미세입자 측정을 위한 응축핵계수기의 개발 | 측정/검사 장비 |
159 | 중소기업기술혁신개발사업 | 웨이퍼 절단용 `Diamond Endless Wire Saw`의 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
158 | 중소기업기술혁신개발사업 | 실리콘 웨이퍼의 내부결함 검사장비 | 측정/검사 장비 |
157 | 중소기업기술혁신개발사업 | 차세대 디스플레이 제조장비용 고온 대응형 대형(2000*100mm2) 사각밸브의 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
156 | 중소기업기술혁신개발사업 | 12인치 플래시 메모리 full contact용 수직형 프로브카드 개발 | 측정/검사 장비 |
155 | 중소기업기술혁신개발사업 | 포토레지스트 코팅 및 박리기술 | 노광 트랙장비 |
154 | 중소기업기술혁신개발사업 | 네트워크를 구비한 LCD 크린 스토커의 청정도 유지를 위한 제진기술 및 필터링 제어 시스템 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
153 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 페케이지용 Flip chip Bonder | 패키징장비 |